原理&结构
FGM222系列质量流量控制器(Mass Flow Controller) 是基于业内端的微机电(MEMS)流量传感器芯片，结 合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智 能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备 有进口电磁比例阀、316L 不锈钢气路座、高精度微机电 流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特 点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流 量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可 选择：4-20mA 和 1-5V 模拟信号，以及 RS485 等数字 通信方式。
特点
温度和压力不敏感
优越的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
多种信号输出方式
采用液晶触控显示和控制
配备高端进口比例电磁阀
配备高端进口比例电磁阀
应用
半导体加工
燃烧控制室
分析和环保
真空技术
表面处理
食品和制药
化工(石化)等过程控制
| 参数说明 | |||||||||||
| 介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 | ||||||||||
| 介质种类 | 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 | ||||||||||
| 量 程 | 0-50/100/500/1000SCCM，0-5/20SLM | ||||||||||
| 精 度 | 1% F.S. | ||||||||||
| 分辨率 | 最低 0.01SCCM | ||||||||||
| 响应时间 | ≤1S | ||||||||||
| 环境条件 | |||||||||||
| 介质温度 | 0~50℃ | ||||||||||
| 工作温度 | -20~70℃ | ||||||||||
| 工作湿度 | 10%~90%RH（无结冰，无凝露） | ||||||||||
| 工作压力 | 0~1MPa | ||||||||||
| 储存温度 | -20~85℃ | ||||||||||
| 电气参数 | |||||||||||
| 供电电压 | DC24V，纹波 ≤50mV | ||||||||||
| 功 耗 | ＜3.2W（有屏幕） | ||||||||||
| ＜2.4W（无屏幕） | |||||||||||
| 启动时间 | <1S | ||||||||||
| 预热时间 | <10mS | ||||||||||
| 通信接口 | |||||||||||
| 模拟信号（电流、电压） | |||||||||||
| 接口类型 | D-SUB 9 针 | ||||||||||
| 电流信号 | 4-20mA (线性对应量程) | ||||||||||
| 电压信号 | 1-5V (线性对应量程) | ||||||||||
| 数字信号（RS485） | |||||||||||
| 接口类型 | RJ45、D-SUB 9 针 | ||||||||||
| 通信速率 | 4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200, | ||||||||||
| 128000,230400,256000,460800,500000（可通过指令或者上位机修改） | |||||||||||
| 协 议 | RS485（默认 Modbus-RTU，可定制私有协议） | ||||||||||
| 设备地址 | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) | ||||||||||
| 最大节点数 | 250 | ||||||||||
| 机械参数 | |||||||||||
| 接头类型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可选 | ||||||||||
| 主体材质 | 底座：316L 不锈钢，外壳：碳钢 | ||||||||||
| 密封材质 | FKM 氟橡胶 | ||||||||||
| 重量 | 0.75kg | ||||||||||
| FGM222- | 气体质量流量控制器 | |||||||||||||
| 量程 | ||||||||||||||
| 50SCCM | ||||||||||||||
| 100SCCM | ||||||||||||||
| 500SCCM | ||||||||||||||
| 1000SCCM | ||||||||||||||
| 5000SCCM | ||||||||||||||
| 20000SCCM | ||||||||||||||
| 信号类型 | ||||||||||||||
| 0...5V | ||||||||||||||
| RS485 | ||||||||||||||
| 1...5V和4...20mA | ||||||||||||||
| 1...5V和RS485 | ||||||||||||||
| RS485和4...20mA | ||||||||||||||
| 连接过程 | ||||||||||||||
| 8mm卡套 | ||||||||||||||
| 12mm卡套 | ||||||||||||||
| 3/8mm卡套 | ||||||||||||||
| 6mm快插 | ||||||||||||||
| 8mm快插 | ||||||||||||||
| 客户可定制 | ||||||||||||||
| 主体材质 | ||||||||||||||
| 7075铝合金 | ||||||||||||||
| 1.4435(316L不锈钢) | ||||||||||||||
| 显示屏 | ||||||||||||||
| 无显示 | ||||||||||||||
| 有显示 | ||||||||||||||
| 供电电源 | ||||||||||||||
| 24VDC±10% 直流电源供电 | ||||||||||||||
| 此选型表完整数据，如需选型请联系销售人员或发电子邮件至sales@kewill-auto.cn获得完整样本。 | ||||||||||||||
